Белсенді гелий тазалау және өндірісті бақылау мүмкіндігі бар микроканалды жылу алмастырғыш компоненттеріне арналған автоматты вакуумдық қораптағы гелий ағып кетуін анықтайтын құрылғы
Бұл машина микроарналы жылу алмастырғыш компоненттерінің вакуумдық қорапша гелий массасының спектрлік ағып кетуін анықтауға арналған арнайы машина. Бұл машина эвакуациялық жүйеден, вакуумдық қорапша ағып кетуін анықтау жүйесінен, гелий тазалау жүйесінен және электрондық басқару жүйесінен тұрады. Машинада белсенді гелий тазалау функциясы бар; Машинада өнімнің өндіріс көлемін, OK өнімінің мөлшерін және NG өнімінің мөлшерін жазу функциясы бар.
| Тексерілген жұмыстардың өнімі | 4L |
| Дайындаманың максималды сыртқы өлшемі | 770 мм * 498 * 35 мм |
| Вакуумдық камераның өлшемі | 1100 (ұзын) 650 (терең) 350 (биік) |
| Мазмұн өнімі | 250 л |
| Вакуумдық қораптар саны | 1 |
| Бір қораптағы жұмыс бөлшектерінің саны | 2 |
| Дайындаманың кіру және шығу қорабының режимі | қолмен кіру және шығу вакуумдық қорабы |
| Есікті ашып, жабыңыз | бұрылмалы қақпақ түрі |
| Үлкен ағып кету қысымы | 4,2 МПа |
| Гелиймен толтыру қысымы | 3 МПа автоматты түрде реттелуі мүмкін |
| Ағып кетуді анықтау дәлдігі | 2 г/жыл (△P=1,5 МПа, R22) |
| Вакуумдық қораптың эвакуациялық қысымы | 30 па |
| Гелий газын қалпына келтіру жылдамдығы | 98% |
| Вакуумдық қорапты сынау станциясы (қос қорапты) | 100 с / бір қорап (қолмен тиеу және түсіру уақытын қоспағанда). Қораптың екі жағында 2 жұмыс шлангісі бар, |
| Ағып кету жылдамдығын басқару параметрі (He) | Пайдаланушылар параметр топтарын таңдай алады немесе оларды дисплей экранында өздерінің процесінің талаптарына сәйкес өзгерте алады. |
| Қамту аймағы | 3140(Ұзындығы)×2500(Ендігі)×2100(Биіктігі) мм |
| Құрылғыға арналған қуат көзі | Үш фазалы айнымалы ток 380В± 10% 50Гц |
| Орнату қуаты | 20 кВт |
| Сығылған ауа қысымы | 0,5-0,6 МПа |
| Шық нүктесі | -10℃ |
| Қысымдағы газ | Тазалығы 99,8%-дан жоғары немесе шық нүктесі -40°C-тан төмен азоты бар сығылған ауа; |
| Қысыммен газ қысымы | 5,5 МПа |